行星齒輪驅(qū)動(dòng)裝置的重量，一般情況下正比于齒輪的重量，而齒輪的重量與其材料和熱處理硬度有很大關(guān)系。所以針對行星齒輪減速電機(jī)的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和齒輪的載荷性質(zhì)，應(yīng)該采用硬齒面齒輪。獲得硬齒面齒輪的熱處理方法很多，如表面淬火，整體淬火、滲碳淬火、滲氮等，應(yīng)根據(jù)行星齒輪減速電機(jī)的特點(diǎn)考慮選定。

1、表面淬火

常見的表面淬火方法有頻淬火（對小尺寸齒輪）和火焰淬火（對大尺寸齒輪）兩種。表面淬火的淬硬層包括齒根底部時(shí)，其效果好。

2、滲碳淬火

滲碳淬火齒輪具有相對的承載能力，但必須采用精加工工序（磨齒）來消除熱處理變形，以精度。

滲碳淬火在輪齒彎曲疲勞強(qiáng)度方面的作用除使心部硬度有所提外，還在于有表面的殘余壓應(yīng)力，它可使輪齒拉應(yīng)力區(qū)的應(yīng)力減小。因此磨齒時(shí)不能磨齒根部分，滾齒時(shí)要用留磨量滾刀。

3、滲氮

采用滲氮可輪齒在變形的條件下達(dá)到很的齒面硬度和耐磨性，熱處理后可不再進(jìn)行后的精加工，提了承載能力。這對于不易磨齒的內(nèi)齒輪來說，具有特殊意義。

4、相嚙合齒輪的硬度組合

當(dāng)大、小齒輪均為軟齒面時(shí)，小齒輪的齒面硬度應(yīng)于大齒輪。而當(dāng)兩輪均為硬齒面且硬度較時(shí)，則取兩輪硬度相同。選擇好的行星齒輪減速電機(jī)材料，有利于提齒輪減速電機(jī)的承載力及使用壽命